近些年來(lái)，平面顯示器走進(jìn)千家萬(wàn)戶的家庭之中，人們看電視時(shí)的液晶電視，智能手機(jī)的觸摸屏等等，這些設(shè)備都運(yùn)用到了ITO靶材。在沒(méi)有這種材料之前，人們使用的是臺(tái)式電腦，臺(tái)式電視，使用的是滑蓋手機(jī)，翻蓋手機(jī)等。隨著平板顯示器尺寸大型化的發(fā)展，對(duì)ITO靶材尺寸及密度的要求也越來(lái)越高，熱壓設(shè)備與技術(shù)已遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足其要求。因此，以燒結(jié)工藝生產(chǎn)大尺寸、高密度ITO靶材已成為國(guó)內(nèi)各大靶材生產(chǎn)廠家研發(fā)的要點(diǎn)。

ITO靶主要用于ITO膜透明導(dǎo)電玻璃的制作，后者是制造平面液晶顯示的主要材料，在電子工業(yè)、信息產(chǎn)業(yè)方面有著廣闊而重要的應(yīng)用。ITO靶材被廣泛應(yīng)用于各大行業(yè)之中，但主要應(yīng)用于平板顯示器中，它是濺射ITO導(dǎo)電薄膜的主要原料，沒(méi)有它的存在，諸多的材料將無(wú)法實(shí)現(xiàn)正常加工以及設(shè)計(jì)。

ITO靶材的主要應(yīng)用：

LCD經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間的發(fā)展后，產(chǎn)品質(zhì)量不斷提升，成本也不斷下降，對(duì)ITO靶材的要求也隨之提高，因此，配合LCD的發(fā)展，未來(lái)ITO靶材發(fā)展大致有以下的趨勢(shì)：

1、降低電阻率

隨著LCD愈來(lái)愈精細(xì)化發(fā)展的趨向，以及它的驅(qū)動(dòng)程序不同，需要更小電阻率的透明導(dǎo)電膜。

2、高密度化

靶材密度的改善直接帶來(lái)的益處主要表現(xiàn)在減少黑化和降低電阻率方面。靶材若為密度小時(shí)，有效濺射表面積會(huì)減少，濺射速度也會(huì)降低，靶材表面黑化趨勢(shì)加劇。高密度靶的表面變化少，可以得到低電阻膜。靶材密度與壽命也有關(guān)，高密度的靶材壽命較長(zhǎng)，意味著可降低靶材成本。

3、尺寸大型化

隨著液晶模塊產(chǎn)品輕薄化和低價(jià)化趨勢(shì)的不斷發(fā)展，相應(yīng)的ITO玻璃基板也出現(xiàn)了明顯的大型化的趨勢(shì)，因此ITO靶材單片尺寸大型化不可避免。

4、靶材本體整體化

如前所述，靶材將朝大面積發(fā)展，以往技術(shù)能力不足時(shí)，必須使用多片靶材拼焊成大面積，但由于接合處會(huì)造成鍍膜質(zhì)量下降，因此目前大多以一體成形為主，以提升鍍膜質(zhì)量與使用率。未來(lái)新世代LCD玻璃基板尺寸的加大，對(duì)靶材生產(chǎn)廠家是一項(xiàng)嚴(yán)苛的挑戰(zhàn)。

5、使用效率高率化

靶材使用率的提升，一直是設(shè)備商、使用者及靶材制造商共同努力的方向。目前靶材利用率可達(dá)40%，隨著液晶顯示器行業(yè)對(duì)材料成本要求的提高，提高ITO靶材的利用率也將是未來(lái)靶材研發(fā)的方向之一。

近年來(lái)，國(guó)內(nèi)的靶材廠家發(fā)展速度，以尤特新材料為首的靶材生產(chǎn)商，加大了研發(fā)的投入，并引進(jìn)國(guó)內(nèi)外先進(jìn)的生產(chǎn)和檢驗(yàn)設(shè)備，其制造的靶材已達(dá)到國(guó)外先進(jìn)進(jìn)口靶材的品質(zhì)，5N6N的高純靶材生產(chǎn)技術(shù)也日趨成熟。相信，不久將來(lái)，國(guó)內(nèi)的靶材企業(yè)能在全部市場(chǎng)上也占有一席之地。

相關(guān)鏈接