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        鈦合金鍛件·鈦合金棒鈦加工件生產(chǎn)制造商
        寶雞靶材廠家定制鈦靶塊 鈦鍛件 鈦靶材 規(guī)格全 批量?jī)?yōu)惠
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        寶雞靶材廠家定制鈦靶塊 鈦鍛件 鈦靶材 規(guī)格全 批量?jī)?yōu)惠

        發(fā)布時(shí)間 :2021-02-18 10:27:02 瀏覽次數(shù) :
        產(chǎn)品名稱鈦靶塊 、鈦鍛件 、鈦靶材
        牌號(hào)/材質(zhì)TA1,TA2,TA3,TC4(Ti6AL4V),GR1,GR2,GR3,GR5( Ti6AL4V)
        標(biāo)準(zhǔn)鈦圓靶 :技術(shù)條件:符合GB/T2695-1996,ASTMB348-97 鈦板靶 :技術(shù)條件:符合GB/T3621-94,ASTM B265-93
        規(guī)格圓靶:常用規(guī)格:60/65/95/100*30/32/40/45mm板靶:(8-25)mm * (150-300) mm * (1000-2500)mm管靶: 70mm * 7mm/10mm
        表面車光,可加螺紋
        特性重量輕,優(yōu)異的抗腐蝕性,防腐性,強(qiáng)度高,耐熱性好,延展性好,無(wú)毒性,無(wú)磁性,優(yōu)良的機(jī)械強(qiáng)度等。
        狀態(tài)退火態(tài)(M) 熱加工狀態(tài)(R) 冷加工狀態(tài)(Y)(退火,超生波探傷)
        應(yīng)用鈦靶材廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體分離器件、平面顯示器、儲(chǔ)存器電極薄膜、濺射鍍膜、工件表面涂層,玻璃鍍膜工業(yè)等領(lǐng)域。
        品名純度密度鍍膜優(yōu)勢(shì)色形狀常規(guī)尺寸應(yīng)用行業(yè)
        鈦鋁(TiAl)合金靶2N8-4N3.6-4.2玫瑰金/咖啡金圓柱形直徑    60/65/95/100*30/32/40/45mm裝飾/工具
        純鉻(Cr)靶2N7-4N7.19白色/黑色圓柱形直徑60/65/95/100*30/32/40/45mm裝飾/工具
        純鈦(Ti)靶2N8-4N4.51金黃色/槍黑色/    藍(lán)色/玫瑰紅圓柱形直徑    60/65/95/100*30/32/40/45mm裝飾/工具
        純鋯(Zr)靶2N5-4N6.5金色圓柱形直徑    60/65/95/100*30/32/40/45mm裝飾/工具
        純鋁(Al)靶4N-5N2.7銀色圓柱形直徑    60/65/95/100*30/32/40/45mm裝飾/工具
        純鎳(Ni)靶3N-4N8.9金屬本色圓柱形直徑    60/65/95/100*30/32/40/45mm裝飾/工具
        鎳釩(Nir)靶3N8.57藍(lán)綠色圓柱形直徑    60/65/95/100*30/32/40/45mm裝飾/工具
        純鈮(Nb)靶3N8.57白色圓柱形直徑    60/65/95/100*30/32/40/45mm裝飾/工具
        純鉭(Ta)靶3N516.4黑色/紫色圓柱形直徑    60/65/95/100*30/32/40/45mm裝飾/工具

        鈦靶概述及材質(zhì)要求

        1、純度

        純度是靶材的主要性能指標(biāo)之一,因?yàn)榘胁牡募兌葘?duì)薄膜的性能影響很大。不過(guò)在實(shí)際應(yīng)用中,對(duì)靶材的純度要求也不盡相同。例如,隨著微電子行業(yè)的迅速發(fā)展,硅片尺寸由6”, 8“發(fā)展到12”, 而布線寬度由0.5um減小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材純度可以滿足0.35umIC的工藝要求,而制備0.18um線條對(duì)靶材純度則要求99.999%甚至99.9999%。

        2、雜質(zhì)含量

        靶材固體中的雜質(zhì)和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。不同用途的靶材對(duì)不同雜質(zhì)含量的要求也不同。例如,半導(dǎo)體工業(yè)用的純鋁及鋁合金靶材,對(duì)堿金屬含量和放射性元素含量都有特殊要求。

        3、密度

        為了減少靶材固體中的氣孔,提高濺射薄膜的性能,通常要求靶材具有較高的密度。靶材的密度不僅影響濺射速率,還影響著薄膜的電學(xué)和光學(xué)性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和強(qiáng)度使靶材能更好地承受濺射過(guò)程中的熱應(yīng)力。密度也是靶材的關(guān)鍵性能指標(biāo)之一。

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